外部調節探針臺可通過寬溫域控溫、精準電學測試及靈活操作設計,有效表征材料電學特性隨溫度的變化規律,其核心功能與優勢如下:
一、寬溫域精確控溫能力
1.溫度范圍:ECH400V-EM具備4K至1700℃的超寬溫度控制范圍,覆蓋從超低溫到高溫的極*條件,滿足不同材料(如金屬、半導體、陶瓷、高分子等)的測試需求。
2.控溫精度:采用高精度PID控制器或模糊邏輯算法,結合液氮制冷、電阻加熱、紅外加熱等多模式集成技術,實現溫度的精準閉環控制,確保實驗過程中溫度穩定性,減少系統誤差。
3.升降溫速率:支持1-10℃/min的可控升降溫斜率,可快速切換溫度,適應材料弛豫特性研究或快速溫度循環測試需求。
1.探針測試模塊:通過外部調節探針座,可手動移動探針至樣品表面任意區域,實現點對點精準接觸。探針針尖設計優化(如彈簧結構防劃傷),確保與樣品電接觸良好,降低接觸電阻波動。
2.多參數測量:可搭配阻抗分析儀、高阻計、源表等設備,同步測量電阻、電容、電感、介電常數、介電損耗等電學參數,全面分析材料電學性能隨溫度的變化規律。
3.測試模式:支持直流(DC)測試、交流(AC)測試、脈沖(Pulse)測試等多種模式,適應不同材料特性(如半導體、絕緣體、導電高分子)的測試需求。
三、操作靈活性與兼容性
1.外部調節設計:探針座位于設備外部,通過位移臺手動調節,操作直觀且靈活,便于快速定位測試點,尤其適合復雜樣品或需要頻繁更換測試位置的場景。
2.樣品適配性:支持多種規格樣品(如薄膜、塊體、粉末等),樣品尺寸限制小,滿足不同材料形態的測試需求。
3.接口兼容性:通過GPIB、USB及LXI總線協議,可無縫對接KEYSIGHT B1500A半導體參數儀、ROHDE&SCHWARZ ZNB矢量網絡分析儀等主流設備,實現變溫過程中IV曲線、電容-電壓譜、阻抗譜的同步采集。
四、外部調節探針臺環境控制與穩定性
1.氣氛控制:探針臺上蓋與底殼構成氣密腔,可充入氮氣等保護氣體,防止樣品在負溫下結霜或高溫下氧化,確保測試環境穩定性。
2.防震設計:采用三級防震結構,將環境振動引起的探針接觸電阻波動控制在10mΩ以內,提升低阻材料(如金屬薄膜)測試的重復性誤差(≤3%)。
3.安全保護:配備極限溫度保護、探針防劃傷、負溫除霜等功能,延長設備壽命,保障操作安全。
